藍鯨晶圓用機械臂式全自動超聲波清洗機，主要由：機械傳動系統(tǒng)、超聲波系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、烘干系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)等6部分組成，一般采用PLC進行控制，操作簡便，可通過修改程序方便地調(diào)整設(shè)置參數(shù)及工藝流程在線監(jiān)視系統(tǒng)的工作狀態(tài)，可自動完成工件的粗洗、噴淋、噴流、熱浸、漂洗、鼓泡、烘干等工藝，大大節(jié)約人力，提高效率。

本設(shè)備為水劑清洗機，采用懸掛輸送，由多位功能槽組成一條連續(xù)清洗生產(chǎn)線，去除工件上的油污、灰塵、廢屑等附著物，得到潔凈工件，使工件達到所規(guī)定的工藝要求。本設(shè)備是一臺精密清洗設(shè)備，它是使用水基清洗劑對需要清洗的工件進行的精密清洗。據(jù)清洗工藝要求，可用清水配制低堿性清洗液。使水活化（皂化），減小水的表面漲力和提高其活化能力，從而對附在工件表面的油污、灰塵、廢屑等進行濕潤，滲透到工件表面而被清洗掉，得到滿意的洗凈度。